Mikroelektrostromexik tizimlar (Mems) bosimi, biomitiket, sanoat nazorati, sanoat nazorati va ekologik monitoring, ularning kam energiya, kam xarajatlar va o'lchov ob'ektiga nisbatan kam ta'sir ko'rsatadi. Ba'zi bir tadqiqlarda, yuqori bosimli o'lchovlarni amalga oshirish uchun pizezorodsion yoki olib kiruvchi defits bosimining bosimi ishlatilgan. Biroq, ushbu piezorodsion va ishlab chiqaruvchi miniatyura yuqori haroratning og'irligi yoki yomon chiziqlar tufayli yuqori bosimli sensorlar katta aniqlikga ega emas.
Yaqinda kosmos va astronavtika ma'lumotlari institutida, Xitoy Fanlar akademiyasi (CAS) yuqori darajadagi minimal o'lchovlar sezuvchi va hajmini yuqori darajadagi yuqori darajadagi o'lchash sezgirligini ishlab chiqdi. Miniatyum sensori mikro-pristallanadigan texnologiyalardan foydalanilgan va temiment natijalarida sensorning to'liq aniqligi 0,1 ~ 100 MPa va -10 ~ 50 daraja bosim oralig'ida. Tegishli tadqiqotlar natijalari "Diafragmmekli diafrafma egilish va hajmini siqishning tarkibiy bosimli mexanizmiga asoslangan rezitantli yuqori bosimli mikrosendor" deb nomlanadi. Siqish "MicroSistemalar va Nanoengineze jurnalida chop etildi.
Quyidagi rasmda ko'rsatilganidek, rezonatorning stress holati, bo'shliqning pastki yuzasiga chiqadi. Rekonatorni o'z ichiga olgan bo'shliq diafragma bükmeni va hajmni siqish bilan bir qatorda qurilishi mumkin. Ushbu kompozit mexanizm orqali tadqiqotchilar yuqori darajadagi miniatyura yuqori bosimli miniatyurani ishlab chiqdilar. Bundan tashqari, yuqori aniqlik turli xil kengliklarga ega bo'lgan ikki rezonanator bo'shliqlaridan foydalanish orqali erishish mumkin.
Yuqori voltli miniatyuraning umumiy volty sensori
A 4- dyuymli vositasi yordamida materiallarni qabul qilish (qurilma qatlami uchun 2 mkm) va 1 mm va 2 mm qalinlikdagi qalinligi uchun 40 mk. Boshqa termolar stressini joriy qilmaslik uchun va barqaror issiqlik stressini izolyatsiya qilish uchun izolyatsiya qatlami materiallari past difling darajasi past bo'lgan n-tipidagi kremniy va<100>yo'naltirish. Asosiy uydirma jarayonlar tarkibiga chuqur reaktiv ion, reaktiv, rezonanatorning chiqarilishi, reakonatorning chiqarilishi, jismoniy bug 'tushirilishi (PVD) va vergulli obligatsiyalar.
Yuqori bosimli miniatyura yuqori bosimli sensorning uydirma jarayoni
Eksperimental natijalar shuni ko'rsatadiki, kartonda remonantlar yuqori bosimli sensorning aniqligi 0 "{3}}" {3}} "{3}}" 0 50 darajaga etadi. Difal chastotalarda bosimning sezgirligi 261.10 Hz / MPa (~ 2,033 PPM / MPA) differentsiyalik chastotada. 261.10 Hz / MPA (~ 2523 PPM / MPA) bosimning sezgirligi 2 MPA bosimida 1.57 Hz / c (~ {{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{-15 ni tashkil qiladi. Differentsial chiqish doimiy harorat va bosimda 0,02 Hz diapazonida ajoyib barqarorlikka ega.
Eksperimental platforma va remonotatsion miniatyuraning yuqori bosimi sensori
Xulosa qilib aytganda, tadqiqotchilar umumiy miniatyura bosimi sezgichlarini diafragmaning egri bosimining sezgirligi sezilarli darajada qattiqligini samarali amalga oshirdi va ikki qavatli miniatyura ikki bosqichli miniatyura bilan ikki marta qattiqlik bilan ikki marta qattiqlikda amalga oshirdi. Ikki odatiy yagona mexanizmlar bilan taqqoslaganda, kompozit bosimning nozik mexanizmi yuqori harorat oralig'ida yuqori o'lchov oralig'ini va yuqori aniqlikni amalga oshirishi mumkin. Ijobiy va salbiy bosimli ikki tomonlama rezonantalizmning mos keladigan dizayni ikkita bitta mexanizmning moslashish va kombinatsiyasi bilan osongina amalga oshirilishi mumkin. Differentsial chiqishi sezgirlikni yaxshilaydi va haroratni o'zi kompensatsiya qilishni amalga oshiradi. Eksperimental natijalari aniqlik, sifat omilligi, sezgirligi va barqarorligi nuqtai nazaridan ushbu miniatyura sensori yuqori ko'rsatkichlarini tasdiqlaydi. Biroq, kompozit boydiga sezgir mexanizm asosida mikrosensuraning zaif tarkibi, bosim doirasini yanada kengaytirishni cheklaydi. Kelajakdagi ish, yuqori bosimni o'lchash uchun amaliy qo'llanmalar uchun amaliy dasturlar uchun amaliy dasturlar uchun amaliy dasturlar uchun amaliy dasturlar uchun amaliy dasturlar uchun chastotali barqarorlikni yaxshilash uchun Segrating Assamblini yanada optimallashtirishga qaratilishi mumkin.